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用于浸沒式顆粒傳感器和抗蝕劑
光刻膠溶液和SOG中的顆??梢詮?.1μm處測(cè)量
光學(xué)系統(tǒng)方法 | 橫向散射法 |
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光源 | 半導(dǎo)體激光泵浦固體激光器(波長(zhǎng)532nm,額定輸出500mW) |
濕接觸材料 | 合成石英,PFA |
粒度分類 |
0.1微米至0.5微米范圍內(nèi)的10步(對(duì)于純凈水等透明液體 ,可選0.07微米或以上)裝運(yùn):0.1微米或更大,0.15微米或更大,0.2微米或更大,0.3微米或更大,0.5微米或更大5個(gè)階段 |
額定流量 | 5mL /分鐘 |
*大顆粒濃度 | 9,600個(gè)/ mL(計(jì)數(shù)損失在10%以內(nèi)) |
電源供應(yīng) | DC12V(由KE-40B1提供) |
尺寸 | 約164(H)x 464(W)x 305(D)mm(不包括突起) |
重量 |
約12.5公斤 |
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