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產(chǎn)品名稱:
日本理音浸沒式顆粒傳感器和抗蝕劑
產(chǎn)品型號(hào):
KS-41A
產(chǎn)品展商:
其它品牌
折扣價(jià)格:
0.00 元
關(guān)注指數(shù):201
產(chǎn)品文檔:
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日本理音浸沒式顆粒傳感器和抗蝕劑KS-41A蘇州設(shè)備直銷
日本理音浸沒式顆粒傳感器和抗蝕劑
的詳細(xì)介紹
KS-41A
用于浸沒式顆粒傳感器和抗蝕劑
光刻膠溶液和SOG中的顆??梢詮?.15μm處測量
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可以連接到多點(diǎn)監(jiān)控系統(tǒng)
規(guī)范
光學(xué)系統(tǒng)方法
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橫向散射法
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光源
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半導(dǎo)體激光器(波長830 nm,額定輸出200 mW)
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濕接觸材料
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合成石英,PFA
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粒度分類
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0.15微米至0.5微米范圍內(nèi)的10步
裝運(yùn):0.15微米,0.2微米,0.3微米,0.5微米或以上的4步
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額定流量
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10mL /分鐘
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*大顆粒濃度
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1,200個(gè)/ mL(計(jì)數(shù)損失在5%以內(nèi))
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電源供應(yīng)
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DC12V(由KE-40B1提供)
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尺寸
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大約160(H)x 300(W)x 251(D)mm(不包括突起)
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重量
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約7.5kg
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