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產(chǎn)品名稱:
HUGLE藤宮全自動清潔系統(tǒng)SC-8 杉本
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品展商:
HUGLE藤宮
折扣價格:
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產(chǎn)品文檔:
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HUGLE藤宮全自動清潔系統(tǒng)SC-8
HUGLE藤宮全自動清潔系統(tǒng)SC-8 杉本
的詳細(xì)介紹
HUGLE藤宮全自動清潔系統(tǒng)SC-8
該系統(tǒng)是作為CRD-4500的后續(xù)系統(tǒng)開發(fā)的，是一種自動清潔系統(tǒng)，可以處理多達(dá)8個“晶圓托架和BOX。清潔目標(biāo)設(shè)置在專用托盤中，并在每個處理腔室中進(jìn)行有效的清潔/干燥。使用Hugle獨(dú)特的特殊滾輪系統(tǒng)運(yùn)送鋼絲托盤，并采用Hugle顆粒措施。
兼容各種容器·節(jié)省空間/節(jié)能設(shè)計·Hugle獨(dú)特的超精密清洗·高效熱風(fēng)刀烘干，實現(xiàn)完全烘干·提供多種選擇·符合SEMI S2，S8和CE標(biāo)準(zhǔn)
規(guī)范
主機(jī)：2630（寬）x 1170（深）x 1706（高）毫米（不包括突出部分）